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混氣系統(tǒng)3路浮子

產(chǎn)品簡介

CGM-3F-PTFE混氣系統(tǒng)3路浮子是一種緊湊的三通道防腐氣體混合輸送系統(tǒng),可與管式爐一起放入小煙囪中,更安全。所有被氣體潤濕的部件都是由PTFE(例如閥、管、混合罐和流量計)制成。用于輸送腐蝕性氣體,如硫化氫(H2S)和硒化氫(H2Se),用于CVD處理。

產(chǎn)品型號:CGM-3F-PTFE
更新時間:2022-11-21
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:1057
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CGM-3F-PTFE混氣系統(tǒng)3路浮子

產(chǎn)品概述:

CGM-3F-PTFE混氣系統(tǒng)3路浮子可與管式爐一起放入小煙囪中,更安全。所有被氣體潤濕的部件都是由PTFE(例如閥、管、混合罐和流量計)制成。用于輸送腐蝕性氣體,如硫化氫(H2S)和硒化氫(H2Se),用于CVD處理。

浮動儀表:

  • 三臺聚四氟乙烯材質(zhì)防腐浮子流量計,流量100-1000ml/min(0.1-1.0l/min)
  • 一個機械壓力表(混合罐):0~0.05 MPa,(0.02 MPa/砂礫)

閥門:三個由聚四氟乙烯材料制成的針閥,用于控制前面板上的氣體出口

儲氣罐:

  • 500毫升聚四氟乙烯氣罐
  • 內(nèi)置的氣體混合罐將來自三個入口通道的氣體混合并混合。

管件:

  • 由聚四氟乙烯制成的管件,可接受1/4“管道(尼龍或不銹鋼)
  • 三個氣體入口,每個通道有一個獨立的氣體流量計。
  • 包括20'長1/4“PTFE管,可立即使用

尺寸:

  • 緊湊型尺寸:340Lx300DX180H,mm(13.4“x12”x7“)。
  • 凈重:16磅

航運:

  • 裝運尺寸:待定
  • 裝運重量:50磅

氧氣檢測:氧傳感器可用于監(jiān)測用于防止或減少氧化的CVD系統(tǒng)中的氣體(ES)的氧含量。

  • 如果您的CVD處理涉及腐蝕性氣體,如H2S,請考慮在您的管式爐上使用聚四氟乙烯法蘭
  • 另外,請選擇耐腐蝕的干式真空泵,而不是油真空泵

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